Lithography - RET : LELE, SADP, PSM

RET : Resolution Enhancement Technology=해상도를 유지하면서, 미세패턴을 만들 수 있는 기술-k1을 줄이는 방법1.Multi-Patterning1-1.Double Patterning (LELE**) 반복횟수에 따라 LELE가 될 수 도 있고, LELELE가 될 수도 있다. (L:litho, E:etch)1-2.Self-Aligned(Spacer Assisted) Double Patterning (SA*P) Double이 될 수 도 있고, Quadruple가 될 수도 있다.2.Phase Shift Mask (PSM) 빛의 위상을 조절하여, 간섭효과를 이용하는 것이다. 본디 Airy disk란 회절로 인한 간섭무늬 중 첫 번째 무늬의 원을 의미한다. 여기서 핵심, airy disk를 만들지 않으려면? 그렇다. 간섭효과를 일어나지 않게 하는 것이다. how? Phase shi..........

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