반도체 공정 1강(Quartz to Wafer 서론)

반도체를 만들기 위해서는 지구상에 있는 Quartz(SiO2)를 순수한 규소인 Wafer(Si)로 바꿔줘야 합니다. 즉 ,SiO2에서 산소를 떼어내는 환원반응을 진행해야 하고, Si의 순도를 높이는 몇가지 공정에 대해 알아봅시다. Fundamentals of Microelectronic Processing, Hong H. Lee 위 그림은 모래(SiO2)에서 Wafer(Pure Si)를 제조하기 위한 공정과정을 간단하게 도사한 그림입니다. 이후에 각각의 Step에 대해서 자세하게 설명할 예정입니다. 더 궁금하신 분들은 참고해주시면 됩니다. 1. Molten Furnance 모래의 주 성분은 SiO2입니다. 이를 1차적으로 순수한 Si로 만들기 위해서 SiO2에서 산소를 떼어내는 환원과정이 필요합니다. 따라서 고온의 Furnance 안에 넣어 SiO2의 환원반응을 일으켜 꽤나 순수한 MGS(Metallurgical grade Si)를 얻어냅니다. 2. Fluidized bed 앞서 얻...

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