반도체 공정 12.5강(Depth of field와 Resolution)

앞서 PR을 현상할 때 원하는 부분에만 PR이 딱 남아있으면 하는데, 광전효과, 빛의 굴절 등 부가적인 효과에 의해서 원하지 않는 부분에도 빛의 영향이 전해진다고 했습니다. 이는 결국 반도체 해상도의 저하로 이어지게 됩니다. 이번 시간에는 반도체 공정에서 해상도와 직접적인 영향이 있는 Depth of field(DF)의 정의와 분해능(Resolution)과의 관계성에 대해 알아보겠습니다. 1. Depth of Field(DF) Semiconductor Manufacturing Technology by Michael Quirk and Julian Serda 2001 by Prentice Hall Depth of Field(DF)는 렌즈를 투과한 빛이 모여서 PR에 제대로 된 영향을 미칠 수 있는 범위를 말합니다. 따라서 DF를 크게 설계 할 수록 정학하게 계측하여 공정을 진행하지 않더라도 PR에 원하는 만큼 노광이 가능합니다. Depth of Field 공식에서 사용하는 파장의 길이가...

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