SPTA 공정실습 반도체 소자 제작 및 특성분석(심화) 후기 - ③ Active area patterning

<포스팅이 순서대로 진행되기 때문에 앞선 포스팅을 아직 못보신 분들은 앞선 포스팅을 먼저 봐주세요!> Active area란 MOSFET에서 전류가 흐르는 통로가 되는 곳을 의미합니다. 즉, Source와 Drain과 Channel이 형성되는 Layer를 의미합니다. Active pattening은 특히 더 중요한 의미를 갖는데, 그 이유는 Active layer는 전자가 직접적으로 이동하는 통로이기 때문에 혹시라도 제대로 패터닝이 되지 않은 경우 전자가 다른 곳으로 흘러버려 쇼트가 나거나 심한경우 소자를 죽일 수도 있습니다. 따라서 더욱 신중하게 패터닝을 해야하고, Device isolation을 통해 각각의 소자가 독립적으로 동작하도록 만들어야 합니다. Active area patterning이 완료되면 위 그림과 같이 전류가 지나갈 수 있는 통로가 완성됩니다. Active area patterning PR 영향 최소화 위해 Yellow room에서 진행 우선 웨이퍼와 PR의 접...

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