반도체 공정 8강(Lithography 서론)

앞서 만든 웨이퍼는 그저 깨끗한 단결정 실리콘일 뿐입니다. 그럼 반도체의 기능을 수행하기 위해서는 위에 회로를 그려줘야겠죠? 웨이퍼에 회로를 그리는 Lithography에 대해 알아봅시다. What is Photolithography? Lithography는 Lithos (돌) + Graphu (그림, 글자)의 합성어로 돌에 그림을 새긴다는 의미입니다. 즉, 우리가 알아가야 할 Photolithography는 회로 설계도 이미지를를 웨이퍼 위에 광학적으로 전사시켜 구현하는 기술을 의미합니다. 이제 리소그라피 공정에 대해 하나하나 설명해보겠습니다. 1. Bare Wafer 7강까지의 과정에서 만든 순수한 실리콘 웨이퍼 입니다. 아직 아무 처리도 하지 않은 모습입니다. 2. Thermal Oxidation 산화 분위기(산소 풍만)에서 열처리를 해서 표면에 SiO2 산화막을 만드는 과정입니다. 산화막의 두께는 약 0.1um 정도입니다. 이후 산화막은 누설전류를 방지하는 역할도 하고, 이온...