SPTA 공정실습 반도체 소자 제작 및 특성분석(심화) 후기 - ⑪ MOS capacitor CV curve

<포스팅이 순서대로 진행되기 때문에 앞선 포스팅을 아직 못 보신 분들은 앞선 포스팅을 먼저 봐주세요!> 저번 포스팅에서 측정 장비에 대한 이론을 마쳤습니다. 이번 포스팅에서는 본격적으로 MOS capacitor에 대한 이론과 실제 CV curve 측정 과정에 대해 알아보겠습니다. 이번 포스팅에서 중점으로 봐야 할 부분은, 3일차까지 진행했던 실험과의 비교입니다. 측정에서 얻은 데이터와 인과 관계가 어떻게 되는 것인지 파악하는 것이야말로 엔지니어가 해야 할 일입니다. MOS capacitor 이론 MOS capacitor를 위에서 본 그림은 우측 그림과 같습니다. 그리고 빨간색 점선을 기준으로 단면도를 그리면 우측 그림과 같습니다. 맨 위에 게이트가 있고, 순서대로 Oxide, Substrate가 위치하고 있습니다. Gate에 전압을 인가해 주면, Oxide에서는 전류가 흐를 수 없기 때문에 Substrate에 전하가 모이게 됩니다. 이것이 바로 일종의 Capacitor가 되는 것이지...

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