반도체 공정 28장(4 point probe method)

소자의 저항을 측정하는 방법은 크게 2 Point probe와 4 Point probe 두 가지로 나눌 수 있습니다. 하지만 반도체 소자의 저항을 측정 할 때는 무조건 Four point probe를 사용해야 합니다. 오늘은 왜 반도체 소자의 저항을 측정할 때 4 point probe method를 주로 사용하는지, 그리고 소자 저항 측정을 통해 어떻게 p-n junction depth를 측정할 수 있는지에 대해 알아보겠습니다. 1. 2 Point probe method 2 Point probe method는 소자의 양쪽 끝에 도선을 연결하여 저항을 측정하는 방법입니다. 양쪽 끝에 일정한 전류(I)가 가해지면, 옴의 법칙에 따라 다른 전위차가 형성될 것이고, 이로부터 저항을 측정하는 방법입니다. 물론 이 방법은 직관적이고 사용하기 편리하다는 장점이 있으나, 소자의 저항이 아닌 양쪽 극단의 접촉저항도 같이 측정되는 단점이 있습니다. 소자의 저항을 Rb, 소자와 전극 사이의 접촉저항(C...

원문링크 : 반도체 공정 28장(4 point probe method)